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sensor-based modeling and monitoring of chemical mechanical polishing
Prahalada Rao (Autor)
·
vdm verlag
· Libro Físico
sensor-based modeling and monitoring of chemical mechanical polishing - prahalada rao
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Reseña del libro "sensor-based modeling and monitoring of chemical mechanical polishing"
this book provides a framework for real time control of the chemical mechanical planarization (cmp) process based on combining nonlinear dynamics principles with statistical process monitoring approaches. cmp has a direct bearing on the computational ...
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